氣體過濾IGS面板專用過濾器_半導體潔凈高純氣體過濾器 兼容多種密封
SF系列IGS面板專用過濾器、用于半導體行業集成氣體輸送與控制系統、兼容C型和W型多種密封規格、實現0.003μm級高效顆粒過濾、保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量、適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造、堅固耐用、緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的表面安裝元件、便于系統集成與模塊化設計升級、安裝維護便捷高效。
產品特點
? 整體316L不銹鋼結構
? 小型化設計、結構緊湊、不占用空間優異的氣體置換和解吸特性
? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
? 電解拋光316L不銹鋼外殼
? 安裝與檢修便捷高效
? 采用機械密封、結構上與介質無焊接
技術參數
| 濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | 316L不銹鋼 | |
| 最大進氣壓力 | 3.4Mpa@100°C | 最大工作壓差 | 0.69Mpa@100°C | |
| 氦氣驗證泄漏率 | 1×10-10cc/min | 氦溍照氣測試泄漏率 | 1×10-10 cc/min |
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| 表面處理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用溫度 | 460℃C |
| 內表面 | Ra < 0.13μm | |||
| 顆粒攔截效率 | ≧99.9999999%(9LRV)@120slpm (參考MPPS所有顆粒) |
下游潔凈度 | 顆粒釋放:<0.03particles/liter (<1particle/ft3)greater than 0.01μm Volatiles:<10ppb moisture |
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| 顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm | 流量范圍 | 0~120slpm | |
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