高流量超純氣體擴散器過濾器_半導體氣體過濾器_工藝潔凈過濾器
高流量超純氣體擴散器過濾器專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計? ?穩壓、穩流、規避湍流
結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003um。
獨特的全316L不銹鋼結構、不僅確保高效過濾、更巧妙的規避了湍流產生、對工藝室環境造成影響、有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。
可定制化設計、靈活適應各類安裝空間。
產品特點
不銹鋼粉末燒結介質、可快速排氣
整體316L不銹鋼結構
減少工藝腔體排氣時的湍流
適用于多種工藝氣體
潔凈室環境內制造、測試、包裝
100%完整性測試通過
100%氨氣泄露檢測通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
防止微粒混入、幫助提高產品合格率可根據安裝空間進行設計
技術參數
| 濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | 316L不銹鋼 |
| 表面處理 | 內表面:Ras32um | 過濾精度um | ≥003um? |
| 最大進氣壓力 | 4bar | 最大工作壓差 | 5bar |
| 最高使用溫度 | 400°C | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01ym rated flow |
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